中芯國際斥資12億美元購買ASML DUV光刻機(jī)
中芯國際斥資12億美元購買ASML DUV光刻機(jī)
中芯國際發(fā)布公告稱,公司就購買用于生產(chǎn)晶圓的阿斯麥(ASML)產(chǎn)品與阿斯麥集團(tuán)簽訂購買單,根據(jù)阿斯麥購買單購買的阿斯麥產(chǎn)品定價(jià),阿斯麥購買單的總代價(jià)為12億美元(約合人民幣78億元)。
此次的購買單為阿斯麥集團(tuán)向中芯國際供應(yīng)用于生產(chǎn)晶圓的機(jī)器,購買單的總價(jià)為12.02億美元。中芯國際未公布訂單包含的產(chǎn)品或機(jī)器型號,但據(jù)外媒報(bào)道,阿斯麥集團(tuán)表示與中芯國際的批量采購交易涉及一項(xiàng)中低端芯片制造技術(shù),即深紫外線光刻技術(shù)(DUV)。阿斯麥?zhǔn)侨蜃畲蟮陌雽?dǎo)體光刻設(shè)備供應(yīng)商,實(shí)現(xiàn)7nm以下先進(jìn)半導(dǎo)體制程的關(guān)鍵設(shè)備——極端紫外線光刻機(jī)(EUV)就由該公司生產(chǎn),并且是全球唯一能夠量產(chǎn)EUV的廠商。阿斯麥3月4日澄清稱,同中芯國際的協(xié)議已于2018年1月1日簽訂,最初將一直持續(xù)到2020年12月31日,并于2021年2月1日延長至2021年12月底
據(jù)外媒透露,19年受制于美國政府的施壓,荷蘭一直未批準(zhǔn)向中國銷售EUV設(shè)備的許可證,20年12月,美政府將中芯國際列入實(shí)體制裁清單,要求美國半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)向中芯國際出口產(chǎn)品前,必須獲得許可才行,21年3月外媒透露,中芯國際經(jīng)過談判已獲得部分美國設(shè)備廠商供應(yīng)許可。
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